Магнетронное напыление. Электронно-лучевое напыление
Многофункциональная вакуумная напылительная установка
Назначение: Вакуумная установка производства фирмы "Торр" предназначена для нанесения металлических, оксидных и других покрытий и тонких пленок на различные подложки методами термического, электронно-лучевого испарения или магнетронного распыления.
- Установка обеспечивает нагрев и вращение подложек в процессе напыления.
- Установка обеспечивает непрерывный контроль процесса осаждения при помощи кварцевого толщиномера.
- Дополнительно в камере установлена ионная пушка для травления и чистки подложек перед осаждением.
- Магнетронное распыление возможно из трех источников, два из них имеют ВЧ источники питания.
- Электронный испаритель оборудован каруселью на 4 тигля.
- Термический испаритель представляет собой вольфрамовую лодочку.
- Все источники оборудованы заслонками, снижающими вероятность взаимного загрязнения источников.
Внешний вид установки «TORR».
Вакуумная камера (внутренний вид)
Технические характеристики:
«Высоковакуумной установки магнетронного и термического осаждения тонких пленок фирмы Torr International, Inc. (США)»
I.вакуумная система | ||
1. | Объем рабочей камеры | 130л |
2. | Предельный вакуум, не хуже | 10-8мБар |
3. | Тип основного насоса | ТМН |
4. | Скорость откачки, не менее | 700л/с |
5. | Тип форвакуумного насоса | безмасляный |
6. | Возможность осаждения с протоком газа | да |
II. источники напыления | ||
1. | Магнетронные источники с блоками питания мощностью не менее (3 шт.) | 1кВт |
2. | Электронно-лучевой испаритель с блоком питания мощностью не менее (1 шт.) | 5кВт |
3. | Термические испарители с блоками питания мощностью не менее (3 шт.) | 2кВт |
III. система управления параметрами осаждения | ||
1. | Диапазон рабочих давлений | 10-8-10-2мБар |
2. | Держатель подложек диаметром, не менее | 50мм |
3. | Нагреватель подложек до температуры, не менее | 800°С |
4. | Скорость вращения подложек | 20 оборотов/мин |
5. | Ионная чистка подложки в камере | да |
6. | Шлюзовая камера для загрузки подложек | да |
7. | Автоматизированный контроль параметров осаждения | да |