Установка Helios NanoLab 660

Установка Helios NanoLab 660

(ввод в эксплуатацию в 2016г.)

Вакуумная откачка  общая –              Безмасляная, ТМН

Откачка электронной колонны  -      два ионно-геттерных насоса

Откачка ионной колонны     один ионно-геттерный насос

Уровень высокого вакуума в камере              6×10-4Па

Источник электронной колонны –   катод  Шоттки

Диапазон ускоряющих напряжений              200-30000В

Разрешение в режиме высокого вакуума 

при ускоряющем напряжении 30 кВ во вторичных электронах          1.2нм

Разрешение в режиме высокого вакуума

при ускоряющем напряжении 30 кВ в обратно-отраженных электронах      2.5нм

Источник ионов        Ga, жидкометаллический

Ускоряющее напряжение    500- 30000В

Локальное осаждение          Pt, W, Cr, SiO2, C