Установки термического напыления пленок ВУП-2
Установки термического напыления пленок ВУП-2.
Назначение: напыление алюминия (1 установка), индия и свинца (2я установка).
Параметры: Откачка диффузионным насосом. Предельный вакуум 5 10-5 Торр.
Физический институт П.Н. Лебедева Российской академии наук
Назначение: напыление алюминия (1 установка), индия и свинца (2я установка).
Параметры: Откачка диффузионным насосом. Предельный вакуум 5 10-5 Торр.