Безмасковая оптическая (УФ) литография
Безмасковая оптическая (УФ) литография
Установка для лазерной литографии mPG101, установленная на антивибрационном столе
Длина волны лазерного светодиода 375нм
Мощность светодиода 70Вт
Минимальный размер структур 0,9мкм (2,5 мкм), в зависимости от пишущей линзы
Точность совмещения, не хуже 200нм
Максимальная площадь засветки 125х125мм2