Нанотехнологическое
Установки для напыления тонких пленок и гетероструктур
- Термическое напыление
- Установки термического напыления пленок ВУП-2
- Магнетронное напыление. Электронно-лучевое напыление
- Установка импульсного лазерного напыления ВТСП гетероструктур с модулем скоростной фильтрации
- Установка PLD/MBE модель PVD-2300
Оптическая литография
- Устройство центрифугирования фоторезиста Laurell Technologies WS-400A
- Оптическая установка совмещения и экспонирования
- Безмасковая оптическая (УФ) литография
- Установка плазмохимической очистки
Электронно - лучевая и ионно - лучевая литография
Измерения рельефа, структуры и элементного состава поверхности
- Сканирующий электронный микроскоп JSM-7001F (JEOL)
- Сканирующий туннельный микроскоп Solver-Pro NT-MDT
- Интерференционный микроскоп ЛЮМАМ
- Микроскоп-тринокулярный ICM-100BD