Многофункциональная вакуумная напылительная установка

Многофункциональная вакуумная напылительная установка

 

Назначение: Вакуумная установка производства фирмы "Торр" предназначена для нанесения металлических, оксидных и других покрытий и тонких пленок на различные подложки методами термического, электронно-лучевого испарения или магнетронного распыления.

  • Установка обеспечивает нагрев и вращение подложек в процессе напыления.
  • Установка обеспечивает непрерывный контроль процесса осаждения при помощи кварцевого толщиномера.
  • Дополнительно в камере установлена ионная пушка для травления и чистки подложек перед осаждением.
  • Магнетронное распыление возможно из трех источников, два из них имеют ВЧ источники питания.
  • Электронный испаритель оборудован каруселью на 4 тигля.
  • Термический испаритель представляет собой вольфрамовую лодочку.
  • Все источники оборудованы заслонками, снижающими вероятность взаимного загрязнения источников.

 

 Внешний вид установки «TORR».

Внешний вид установки «TORR».

 Внешний вид установки «TORR».

Вакуумная камера (внутренний вид)

 

Технические характеристики:

«Высоковакуумной установки магнетронного и термического осаждения тонких пленок фирмы Torr International, Inc. (США)»

 

I.вакуумная система

1.

Объем рабочей камеры

130л

2.

Предельный вакуум, не хуже

10-8мБар

3.

Тип основного насоса

ТМН

4.

Скорость откачки, не менее

700л/с

5.

Тип форвакуумного насоса

безмасляный

6.

Возможность осаждения с протоком газа

да

II. источники напыления

1.

Магнетронные источники с блоками питания мощностью не менее (3 шт.)

1кВт

2.

Электронно-лучевой испаритель с блоком питания мощностью не менее (1 шт.)

5кВт

3.

Термические испарители с блоками питания мощностью не менее (3 шт.)

2кВт

III. система управления параметрами осаждения

1.

Диапазон рабочих давлений

10-8-10-2мБар

2.

Держатель подложек диаметром, не менее

50мм

3.

Нагреватель подложек до температуры, не менее

800°С

4.

Скорость вращения подложек

20 оборотов/мин

5.

Ионная чистка подложки в камере

да

6.

Шлюзовая камера для загрузки подложек

да

7.

Автоматизированный контроль параметров осаждения

да

 

 

 

МЕНЮ САЙТА