Устройство центрифугирования фоторезиста Laurell Technologies WS-400A
Устройство центрифугирования фоторезиста Laurell Technologies WS-400A
Laurell Technologies WS-400A |
Назначение: нанесения тонких пленок,
Параметры: скорость вращения до 10000 об/мин,
размеры подложек 5-200 мм