Установка плазмохимической очистки
Установка плазмохимической очистки
Назначение: для очистки и обработки поверхности наноструктур в кислородной плазме низкой плотности, с блоком генерации сверхчистого кислорода (99,999%) Кулон-10К).
Физический институт П.Н. Лебедева Российской академии наук
Назначение: для очистки и обработки поверхности наноструктур в кислородной плазме низкой плотности, с блоком генерации сверхчистого кислорода (99,999%) Кулон-10К).