Установка импульсного лазерного напыления ВТСП гетероструктур с модулем скоростной фильтрации
Установка импульсного лазерного напыления ВТСП гетероструктур с модулем скоростной фильтрации
Установка предназначена для напыления эпитаксиальных ВТСП пленок и гетероструктур на их основе. Особенности установки:Подробнее о принципах работы
- Осаждение в классической осевой геометрии.
- Исключение микрокапель и твердых частиц из потока лазерной плазмы с помощью скоростной фильтрации.
- Возможность in situ смены мишеней и послойного осаждения пленок различных материалов.
- Максимальный размер образца - 15х15 мм
Общий вид вакуумной камеры установки импульсного лазерного напыления