 | Оптимизирована для нанесения металла на легколетучие вещества (например, органические полупроводники). Так как наносимый металл испаряется с горячего катода, то для предотвращения перегрева образцов из легколетучих материалов испаритель максимально удалён от образца, а сам образец располагается на массивном медном блоке водяного охлаждения (также имеется возможность установки между образцом и медным блоком элемента Пельтье для охлаждения образца ниже 0°C). Контроль толщины пленок в процессе напыления осуществляется с помощью кварцевого измерителя толщины Sigma AQM-160. - Диапазон температур образца -30 - +20ºС.
- Напыляемые материалы: Al, In, Ag, Au.
|