Установка импульсного лазерного напыления ВТСП гетероструктур с модулем скоростной фильтрации

Установка импульсного лазерного напыления ВТСП гетероструктур с модулем скоростной фильтрации

Установка предназначена для напыления эпитаксиальных ВТСП пленок и гетероструктур на их основе. Особенности установки:

• Осаждение в классической осевой геометрии.
• Исключение микрокапель и твердых частиц из потока лазерной плазмы с помощью скоростной фильтрации.
• Возможность in situ смены мишеней и послойного осаждения пленок различных материалов.
• Максимальный размер образца - 15х15 мм

Подробнее о принципах работы

Общий вид вакуумной камеры установки импульсного лазерного напыления