Безмасковая оптическая (УФ) литография

Безмасковая оптическая (УФ) литография

Установка для лазерной литографии mPG101,  установленная на антивибрационном столе

 

Длина волны лазерного светодиода  375нм

Мощность светодиода 70Вт

Минимальный размер структур  0,9мкм (2,5 мкм), в зависимости от пишущей линзы

Точность совмещения, не хуже 200нм

Максимальная площадь засветки 125х125мм2

МЕНЮ САЙТА