МНОГOСЛОЙНЫЕ РЕНТГЕНОВСКИЕ ЗЕРКАЛА
Материал | период, нм | количество пар слоев | отражение, % | разрешение, % | длина волны , нм |
W/Si | 1.3 - 4 | 100 - 300 | 15 - 75 | 1 - 5 | 0.154 |
W/B4C | 1.7 | 400 | 40 | 0.6 | 0.154 |
Cr/Sc | 2 - 5 | 80 - 200 | 5 - 40 | 0.65 - 2.6 | 0.154 |
W/Sc* | 1.6 | 130 | 3.3 | 0.85 | 3.16 |
Ni/C | 5 - 8 | 60 | 85 - 90 | 4 - 5 | 0.154 |
Cr/C | 2 - 5 | 40-300 | 5 - 25 | 1 - 5 | 0.154 |
W/C | |||||
Mo/B4C | 2.4 - 10 | 400 - 250 | 60 - 80 | 1.5 - 1.9 | 0.154 |
Mo/Si | 6.5 - 15 | 20 - 40 | 75 - 80 | 0.154 | |
Mo/Si* | 6.9 | 40 | 58 | 2.5 | 13.4 |
W/Si* | 12 | 30 | 24 | 3 | 23.4 |
Sc/Si* | 21.3 | 8 | 50 | 9 | 36.5 |
Co/C | 2 - 8 | 10 - 300 | 10 - 35 | 0.6 - 7 | 4.5 |
Co/C* | 2 - 2.5 | 200 | 14 | 0.7 | 4.5 |
W/Sc | 1.6 - 3.0 | 100 - 300 | 25 - 60 | 1 - 3 | 0.154 |
WC/Si | 3 | 150 - 200 | 70 | 2.5 | 800 |
Mo2B5/B4C |
8.3 | 40 | 77 | 5.2 | 1400 |
(*) - Зеркала нормального падения.
Многослойные покрытия могут быть нанесены на плоские или сферические подложки диаметром до 100 мм и радиусом кривизны более 20 мм.
Гарантированная точность положения максимума коэффициента отражения:
± 0.5 % для зеркал диаметром 20 mm
± 0.7 % для зеркал диаметром 40 mm
± 1 % для зеркал диаметром 55 mm
термической стабильностью.
Материал | период, нм | количество пар слоев | отражение (длина волны=0.154 нм), % | разрешение, % | максимальная рабочая температура, K |
WSi2/Si | 3 | 150 | 70 | 2.3 | 900 |
CrB2/C | 5 | 50 | 65 | 3.1 | 1100 |
MoSi2/Si | 8 | 40 | 82 | 6.5 | 1000 |