Подложки для эпитаксии
Монокристаллы и пластины ZnSe выращенные на затравках с ориентацией <100> (слева), с ориентацией <111> (справа). |
Монокристаллические пластины (100) ZnSe |
Характеристики подложек для эпитаксиального роста
ZnSe | ZnTe | ZnSe1-xSx, x≤0.15 | |
---|---|---|---|
Ориентация | <111>, <001> | <001> | <111>, <001> |
Диаметр, мм | 40-50 | 40 | 40-50 |
Структура | кубическая | кубическая | кубическая |
Параметр решетки, ангстрем | 5,6687 | 6,1034 | - |
Плотность дислокаций, см-2 | 5´103 – 104 | 104 - 5´105 | <5´105 |
Двойники | отсутсвуют | отсутсвуют | - |
Удельное сопротивление, Ом×см | 5´10-2- 1010 | 1-107 | 108-1012 |