МНОГOСЛОЙНЫЕ РЕНТГЕНОВСКИЕ ЗЕРКАЛА



Многослойные зеркала для мягкого рентгеновского диапазона.


Материал период, нм количество пар слоев отражение, % разрешение, % длина волны , нм
W/Si 1.3 - 4 100 - 300 15 - 75 1 - 5 0.154
W/B4C 1.7 400 40 0.6 0.154
Cr/Sc 2 - 5 80 - 200 5 - 40 0.65 - 2.6 0.154
W/Sc* 1.6 130 3.3 0.85 3.16
Ni/C 5 - 8 60 85 - 90 4 - 5 0.154
Cr/C 2 - 5 40-300 5 - 25 1 - 5 0.154
W/C          
Mo/B4C 2.4 - 10 400 - 250 60 - 80 1.5 - 1.9 0.154
Mo/Si 6.5 - 15 20 - 40 75 - 80   0.154
Mo/Si* 6.9 40 58 2.5 13.4
W/Si* 12 30 24 3 23.4
Sc/Si* 21.3 8 50 9 36.5
Co/C 2 - 8 10 - 300 10 - 35 0.6 - 7 4.5
Co/C* 2 - 2.5 200 14 0.7 4.5
W/Sc 1.6 - 3.0 100 - 300 25 - 60 1 - 3 0.154
WC/Si 3 150 - 200 70 2.5 800
Mo2B5/B4C
8.3 40 77 5.2 1400

(*) - Зеркала нормального падения.

Многослойные покрытия могут быть нанесены на плоские или сферические подложки диаметром до 100 мм и радиусом кривизны более 20 мм.

Гарантированная точность положения максимума коэффициента отражения:
± 0.5 % для зеркал диаметром 20 mm
± 0.7 % для зеркал диаметром 40 mm
± 1 % для зеркал диаметром 55 mm



Многослойные рентгеновские зеркала с улучшенной
термической стабильностью.


Материал период, нм количество пар слоев отражение (длина волны=0.154 нм), % разрешение, % максимальная рабочая температура, K
WSi2/Si 3 150 70 2.3 900
CrB2/C 5 50 65 3.1 1100
MoSi2/Si 8 40 82 6.5 1000