Технологическое
ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
1. Установка для роста органических монокристаллов методом газового транспорта.
Состоит из внешней медной трубки, 2-х управляемых нагревателей, газовой системы и ростовой кварцевой трубки. Исходное органическое вещество возгоняется и относится ламинарным потоком аргона в более холодную область роста, образуя кристаллы на стенках кварцевой трубки. Температура возгонки - до 350С, поток аргона - до 150см3/мин.
2. Комплекс установок для создания МДП-структур на поверхности образцов любых веществ, включая органические полупроводники и сверхпроводники.
МДП структуры обеспечивают возможность воздействия на поверхность электрическим полем до 108 В/м.
- Установка для нанесения полимерных диэлектрических пленок.
| Предназначена для покрытия образцов полипараксилиленовой плёнкой. Дипараксилилен (димер) возгоняется в вакууме при температуре ~120C, проходит стадию пиролиза при ~720C, из активного мономера в зоне осаждения на всех возможных поверхностях образуется твёрдая полимерная плёнка. Толщина получаемого покрытия 0.5-5мкм (стандартно 1мкм), диэлектрическая проницаемость 2.65, объёмное удельное сопротивление - не хуже 1014 Ом*см, электрическая прочность - не хуже 100В/мкм, относительное удлинение при разрыве - не менее 20%. Масимальный размер покрываемого образца - 2*2см. |
- Установка для нанесения металлических пленок на поверхность легколетучих материалов.
Оптимизирована для нанесения металла на легколетучие вещества (например, органические полупроводники). Так как наносимый металл испаряется с горячего катода, то для предотвращения перегрева образцов из легколетучих материалов испаритель максимально удалён от образца, а сам образец располагается на массивном медном блоке водяного охлаждения (также имеется возможность установки между образцом и медным блоком элемента Пельтье для охлаждения образца ниже 0°C). Контроль толщины пленок в процессе напыления осуществляется с помощью кварцевого измерителя толщины Sigma AQM-160.
|
- Установка для изготовления контактных масок для напыления методом электроискровой резки.
|
|
Резка масок из металлической фольги производится вольфрамовой иглой. Игла и фольга подключены к выходу высокочастотного генератора и погружены в дистиллированную воду. В месте их соприкосновения возникает искровой разряд, "выжигающий" фольгу. Толщина реза ограничена толщиной вольфрамовой проволоки (50мкм). Стандартный размер фольги 2см, маски - 8мм. Возможно изготовление масок большего размера. |
|
|
- Установка для оптического контроля качества пленок на основе интерференционного микроскопа ЛЮМАМ.
3. Установки для синтеза кристаллов органических соединений электрохимическими методами (на площадке ИПХФ).
Общий вид вакуумной камеры установки импульсного лазерного напыления
Двойной герметичный бокс СПЕКС GB-02
Двойной герметичный бокс СПЕКС GB-02 с интегрированной газоочистительной системой предназначен для работы с химически активными веществами, а также соединениями, чувствительными к содержанию кислорода, либо следов влаги в атмосфере. Бокс используется при проведении лабораторных исследований с применением гигроскопичных или токсичных веществ. Основными составными частями установки являются собственно бокс герметичный, станина и установка для очистки газов от примесей органических соединений, кислорода и диоксида углерода и влаги. Бокс оборудован системой защиты от перепадов давления, а также системой контроля количества кислорода и паров воды в объеме бокса. Боксы соединены между собой шлюзом, который позволяет перемещать образцы и материалы из одного бокса в другой, не нарушая герметичности объема. Каждый из боксов оборудован двумя перчаточными отверстиями, что обеспечивает возможность работы с расположенными внутри боксов весами, пресс-формой и гидравлическим прессом, другим вспомогательным оборудованием (сайт изготовителя www.spectro-systems.ru).
Технические характеристики:
- Объем каждой из камер 0,94 м3
- Содержание примесей в очищенном воздухе в пересчете на метан не более 0.01, мг/м3
- Время выхода на режим не более 40 минут
Печь FZ-T-4000-H-VI
Печь FZ-T-4000-H-VI с оптическим нагревом и перемещающейся зоной используется для роста монокристаллов. В печах этого типа происходит бестигельное плавление предварительно приготовленного керамического стержня исходного материала, что позволяет избежать химической реакции между расплавом и материалом тигля и, таким образом, избежать загрязнения кристалла. Перемещение зоны создает возможность для роста кристаллов из неконгруэнтно плавящихся материалов. Одним из важных преимуществ данной оптической зонной печи является возможность непосредственного наблюдения процесса плавления исходного материала и движения расплавленной зоны по стержню. (сайт изготовителя www.crystalsys.co.jp/index_e.html).
Технические характеристики:
- Макс. диаметр образца 50 мм
- Макс. длина образца 150 мм
- Макс. вакуум 5*10-5 мм рт. ст.
- Макс. давление 10 атм
- Макс. температура 2150 °С
- Макс. длина расплавленной зоны 50 мм
- Скорость роста 0,05-27 мм/ч
- Скорость медленного движения расплавленной зоны 0,05-27 мм/ч
- Скорость быстрого движения расплавленной зоны 6-60 мм/мин
- Скорость вращения держателя 5-55 мин-1
- Наблюдение Камера и дисплей
Высокотемпературная трубчатая печь «Nabertherm RT 50-250/12»
Универсальная высокотемпературная трубчатая печь «Nabertherm RT 50-250/12» со штативом для горизонтального и вертикального режима, а также системой подачи газа в нагреваемый объем. Используется в случаях, когда необходимо проведение лабораторных опытов в горизонтальном или вертикальном положении или при определенном угле. Благодаря варьируемому углу наклона и рабочей высоте, а также компактной конструкции, эта печь также пригодна для интеграции в существующие производственные установки (сайт производителя www.nabertherm.com).
Основные характеристики:
- Тмакс 1300о С
- Внутренний диаметр трубы 50 мм
- Обогреваемая длина 250 мм
- Длина, на которой температура изменяется на 10о С 80 мм
- Полная длина трубы 360 мм
- Контроллер R330 c возможностью использования 9 программ по 40 шагов в каждой. Точность регулирования 0.1о С
Установка для ультразвуковой микросварки L-D-C
Установка для ультразвуковой микросварки Kulicke&Soffa 4523. Приварка проволочных выводов Au, Al диаметром 1 - 75мкм